Рентгеновский сцинтиллятор (CsI) Высоковакуумная система осаждения, CsI сверхвысокое пространственное разрешение покрытия для визуализации
Система высоковакуумного напыления CsI предназначена исключительно для металлизации CsI на сцинтилляционных экранах в среде чрезвычайно высокого вакуума.
Сцинтилляторы CsI толщиной 200～600 мкм обладают высокой однородностью толщины и яркости.
Иодид цезия (CsI) Характеристики осаждения:
сверхвысокое пространственное разрешение изображения;
Быстрый отклик для более четкого изображения;
Лучшие в своем классе области изображения от края до края;
Оптические поглощающие слои или отражающие слои;
Низкая доза рентгеновского излучения пациента;
Заявление: для проверки безопасности и инспекции, обучения физике высоких энергий, обнаружения ядерного излучения и медицинских изображений: обследование органов грудной клетки, мамография, внутриротовая и панорамная стоматологическая диагностика.
Применяемые субстраты:Стекло TFT, волоконно-оптическая пластина, пластина из аморфного углерода, алюминиевая пластина
Характеристики оборудования:
Надежность:
круглосуточная работа в режиме нон-стоп;
Контроллер толщины пленки Inficon для оперативного контроля толщины пленки.
Точность контроля температуры: ± 1 ℃, многоступенчатая настройка, автоматическая запись и контроль данных температуры
Поворотные стойки оснащены серводвигателем для высокой точности и стабильности.
Безопасность:
Высоковакуумный насос: Молекулярный насос с магнитной подвеской, с устройством для продувки газообразным азотом, чтобы избежать попадания опасного материала в воздух;
Все электроды снабжены защитными рукавами.
Повторяемость и воспроизводимость:
Благодаря высокоточной системе контроля параметров,
Программное обеспечение и программа для автоматизированного управления технологическими процессами,
Удобное управление.
Эффективность:
Модель CsI-950A+ имеет двухповоротную структуру стойки на основе модели CsI-950 первого поколения.
Двойная емкость для макс.размер подложки: 500 х 400 мм.
Технические характеристики
| Описание | ЦСИ-950 |
ЦСИ-950А+
|
|
Камера осаждения (мм)
|
φ950 x В1350 |
φ950 x В1350
|
| Загрузка поворотных стеллажей | 1 | 2 |
| Источники испарения | 2 |
2
|
| Метод нагрева |
Йодо-вольфрамовая лампа Максимум.800 ℃ |
Йодо-вольфрамовая лампа Максимум.800 ℃ |
| Максимальное вакуумметрическое давление (Па) | 8,0×10-5Па | 8,0×10-5Па |
| Молекулярный насос с магнитной подвеской | 1 х 3400 л/с |
1 х 3400 л/с
|
| Насос Рутса | 1 х 490 м³/ч |
1 х 490 м³/ч
|
| Ротационно-лопастной насос | 1 х 300 м³/ч |
1 х 300 м³/ч
|
| Контроллер осаждения | Кварцевый контроль x 1 |
Кварцевый контроль x 1
|
| Потребляемая мощность (кВт) |
Максимум.ок.62 Среднее ок.32 |
Максимум.ок.65 Среднее ок.35 |
Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных спецификаций, Royal Technology имеет честь предоставить вам комплексные решения для покрытий.
Загрузите брошюру, пожалуйста, нажмите на ссылку ниже:
Иодид цезия (Csl) вакуумное металлизирующее оборудование.p...
